特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1. 硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。
2. 掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。
4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、基等。
工业气体作为国民经济基础工业要素之一，随着中国经济的快速发展，其地位和作用日益凸显，行业下游应用领域也不断扩展。据统计，2002-2017年，能源、环保、的需求增长速度超过了传统的钢铁有色，新型煤化工，尤其是煤制天然气大发展、节能减排要求降低能耗以及国三国四标准要求降低汽柴油含硫量将加快工业气体的需求增速。我国工业气体行业冯朝渊表示，市场需求的扩大对工业气体行业现有经营模式推出了更高的要求，利用网络技术手段进行营销模式改革已成为大势所趋。
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